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一、概述

數(shù)字式四探針測試儀是半導(dǎo)體材料的電阻性能測量設(shè)備。儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。

二、技術(shù)指標(biāo)

1、測量范圍：電 阻 率：0.0001～2000Ωcm（可擴(kuò)展）；

                     電 導(dǎo) 率：0.0005～10000s/cm；

                   方塊電阻：0.001～20000Ω（可擴(kuò)展）；

                      電    阻：0.0001～2000Ωcm。

2、模擬電阻測量相對誤差（按JJG508-87進(jìn)行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1。

3、可測晶片直徑：140mm×150mm；200mm×200mm；400mm×500mm。

4、恒流源：電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)。